【3月2日 Xinhua News】中国清華大学(Tsinghua University)工程物理学部の唐伝祥(Tang Chuanxiang)教授の研究グループとドイツの研究チームは2月25日、英科学誌「ネイチャー」に論文を発表し、「定常状態マイクロバンチング(SSMB)」と呼ばれる新型粒子加速器光源の原理検証実験について報告した。この研究は光子科学研究に新たな機会をもたらし、EUV(極端紫外線)リソグラフィ(露光装置)の独自開発を後押しすることが期待される。

 唐氏は「SSMB光源の潜在的な用途の一つに、将来的なEUV露光装置光源への応用が挙げられる」と説明。露光装置に必要なEUV光は、短波長で高出力であることが求められるとし、「SSMBをベースにしたEUV光源は高い平均出力を実現でき、より短い波長に拡張する可能性を備えているため、高出力EUV光源開発の技術的な壁を突破する上で新たな解決策を提供することになる」と述べた。

 ネイチャー誌はこの研究について「この実験では、放射光光源と自由電子レーザーという既存の2種類の主要な加速器光源の特性を組み合わせる方法を検証している。SSMB光源は将来的に、EUV露光装置や角度分解光電子分光などの分野での応用が期待できる」と評価した。(c)Xinhua News/AFPBB News